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苏州等离子清洗产品特点

发布时间：2024-11-24人气：64

产品特点

不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
石英腔体，密封性卓越
13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
可视化触摸屏，过程参数实时监控。
支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例可调

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